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长春光学精密机械与物... [2]
金属研究所 [1]
自然科学史研究所 [1]
微电子研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [5]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [2]
发表日期
2019 [1]
2006 [1]
2002 [2]
2001 [1]
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“卡脖子”技术的突破:中国微电子技术微米级台阶的跨越
期刊论文
OAI收割
工程研究-跨学科视野中的工程, 2019, 卷号: 11, 期号: 06, 页码: 587-603
作者:
王公
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提交时间:2022/07/18
微电子技术
超大规模集成电路
国际封锁
巴黎统筹委员会
李志坚
HfO2/Si(001)界面层的TEM研究
会议论文
OAI收割
2006年全国电子显微学会议, 沈阳, 2006-08-26
卓木金
;
马秀良
收藏
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提交时间:2013/08/21
栅氧化层
氧化硅
高K介质材料
隧穿效应
栅介质层
微电子技术
信息高速处理与光电子技术
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2002, 期号: 04, 页码: 238-240
李海华
;
王遵立
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2013/03/11
信息高速处理
光电子技术
微电子技术
电子束曝光技术发展概况
期刊论文
OAI收割
世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 3,27-29
作者:
刘明
;
张建宏
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提交时间:2010/05/25
电子束
曝光技术
微电子技术
Sem
高斯扫描系统
成型束
抗蚀剂
微光学的进展
会议论文
OAI收割
中国吉林长春
刘英同
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/03/19
微光学:8544
光学器件:2437
光学元件:2220
衍射原理:1964
微电子技术:1918
二元光学:1855
非球面:1286
微型化:1149
衍射效率:1129
梯度折射率光学:941