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机构
上海微系统与信息技术... [7]
电子学研究所 [5]
高能物理研究所 [1]
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OAI收割 [13]
内容类型
期刊论文 [7]
会议论文 [3]
学位论文 [3]
发表日期
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学科主题
传感器 [1]
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硅基微纳复合降噪与电能转换器件的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
吴少华
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/06/08
微电子机械系统
微米纳米复合加工技术
硅基微纳米降噪
微纳系统能量自收集
降噪与能量收集复合器件
基于MEMS技术的温湿度集成传感器设计
会议论文
OAI收割
2002年全国湿度、水分、气体学术交流会, 2002
赵湛
;
史晓希
;
张博军
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2010/09/04
MEMS技术
集成传感器
温湿度
微电子机械系统
印刷电路板的微流体(Micro Fluidic)应用
会议论文
OAI收割
2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会, 2007
Stefan Gassmann
;
Lienhard Pagel
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2012/01/18
印刷电路板 应用流体学 微电子机械系统 微流体技术
微电子机械系统(MEMS)传感器在汽车和消费类产品中的应用
会议论文
OAI收割
2007年中国国际表面贴装和微组装技术大会, 2007
Von Janecek,Hubertus
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/01/18
微电子机械系统 微系统技术 汽车传感器
基于MEMS 技术制作的硅纳米线及其性质研究
学位论文
OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
刘文平
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2012/03/06
纳米制造技术
硅纳米线
微电子机械系统
表面态
基于MEMS技术制作的硅纳米线及其性质研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
刘文平
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2012/03/06
纳米制造技术
硅纳米线
微电子机械系统
表面态
基于微纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究
期刊论文
OAI收割
传感技术学报, 2006, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 2149-2152
许媛媛
;
边超
;
陈绍凤
;
夏善红
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/05/19
微/纳米加工技术
微型电化学免疫传感器
微电子机械系统(MEMS)
抗体
部分耗尽型注氟SIMOX器件的电离辐射效应
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2005, 期号: 02
李宁
;
张国强
;
刘忠立
;
范楷
;
郑中山
;
林青
;
张正选
;
林成鲁
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
体硅键合技术
薄膜密封技术
微电子机械系统封装技术
液相外延YBCO膜中氧扩散
期刊论文
OAI收割
低温物理学报, 2003, 期号: S1
张宏
;
杜柯
;
姚忻
;
曾新华
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
微电子机械系统
微传感器
微执行器
微机械技术
生物芯片技术及应用简介
期刊论文
OAI收割
安徽医科大学学报, 2003, 期号: 01
张学军
;
周文明
;
赵建龙
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/01/06
微电子机械技术
光读出热成像
Fabry-Perot微腔红外探测器列阵
噪声等效温差