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	非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用学位论文 OAI收割博士, 中国科学院长春应用化学研究所: 中国科学院研究生院, 2013 作者: 柯曦收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2016/09/14 软刻蚀技术 “蘸笔”纳米加工技术微米阵列
	硅基微纳复合降噪与电能转换器件的研究学位论文 OAI收割博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012 吴少华收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/06/08 微电子机械系统微米纳米复合加工技术硅基微纳米降噪微纳系统能量自收集降噪与能量收集复合器件
	基于混合汇聚节点的无线传感器网络数据收集方法期刊论文 OAI收割光学精密工程, 2008, 期号: 09 马奎; 黄河清; 沈杰; 姚道远; 刘海涛; 阴泽杰收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2012/01/06 光子晶体亚微米微细加工制备方法
	软刻蚀及其应用期刊论文 OAI收割化学通报, 2002, 期号: 9, 页码: 606-613 王喆; 邢汝博; 韩艳春; 李滨耀收藏 \| 浏览/下载：174/24 \| 提交时间：2010/11/03 软刻蚀微米加工纳米加工图案化弹性模板
	Soft lithography and its application 期刊论文 OAI收割 huaxue tongbao (chemistry), 2002, 期号: 9, 页码: 606-613 Wang Zhe,Xing Rubo,Han Yanchun*,Li Binyao 收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2010/09/13 软刻蚀、微米加工、纳米加工、图案化、弹性模板