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	微纳沟道技术研究DNA分子性质研究期刊论文 OAI收割纳米科技, 2007, 卷号: 4, 期号: 1, 页码: 5,47_51 作者: 李冀; 金爱子; 牛憨笨; 陈大鹏; 顾长志 \| 收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2010/05/26 微纳米沟道纳米孔纳米沟槽原子力显微镜
	一种新颖的纳米沟道制造技术研究及其应用学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2007 史明甫收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2012/03/06 MEMS双纳米沟道双阴影效应角度选择性微流控芯片
	曲面保护高量程加速度传感器阻尼特性研究期刊论文 OAI收割光电工程, 2006, 期号: 09 杨尊先; 李昕欣; 于映收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/01/06 微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀
	一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术会议论文 OAI收割传感技术学报, 2006 史明甫; 焦继伟; 包晓清; 冯飞; 杨恒; 李铁; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：19/0 \| 提交时间：2012/01/18 微/纳机械系统纳米沟道离子束刻蚀