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机构
上海微系统与信息技术... [4]
半导体研究所 [1]
沈阳自动化研究所 [1]
合肥物质科学研究院 [1]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
期刊论文 [4]
学位论文 [3]
发表日期
2016 [1]
2010 [1]
2009 [1]
2008 [1]
2007 [1]
2004 [1]
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学科主题
半导体器件 [1]
微电子学 [1]
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AFM扫描探针的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016
何欢
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提交时间:2016/06/03
扫描探针显微镜
AFM探针
MEMS
微悬臂梁
硅针尖
基于微机械悬臂梁结构的MEMS探测器与传感器
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
杨永亮
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浏览/下载:62/0
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提交时间:2012/03/06
微机电系统
微波悬臂梁探针
电热驱动
压阻效应
界面陷阱。
高密度脂蛋白亚类的检测方法
期刊论文
OAI收割
临床检验杂志, 2009, 期号: 06
郑慧斐
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2012/01/06
微悬臂梁/探针
标定
原子力显微镜
微机电系统
集成电路芯片圆片级测试用MEMS探卡技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
汪飞
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浏览/下载:61/0
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提交时间:2012/03/06
微机械电子系统
芯片测试探卡
过孔互连
悬臂梁探针阵列
接触电阻
机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 2007, 卷号: 28, 期号: 7, 页码: 1223-1228
作者:
田孝军
;
王越超
;
董再励
;
李文荣
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提交时间:2010/11/29
驱动器驱动
探针定位
复现扫描轨迹
运动学耦合误差
悬臂变形
Transmission Properties of Fiber Probes
期刊论文
OAI收割
半导体光子学与技术:英文版, 2004, 卷号: 010
-
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2020/10/26
光纤探针
传输效率
锥形探针
悬臂探针
基于DSP的DPSK差分解调的实现及研究
期刊论文
OAI收割
移动通信, 2003, 期号: S2
方浩华
;
王跃林
;
徐会勤
;
金仲和
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/01/06
悬臂梁-针尖探针
纳机电系统技术
压阻敏感
电热纳米针尖
数据存储技术