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• 期刊论文 [4]
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发表日期

• 2019 [1]
• 2016 [1]
• 2013 [1]
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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79 作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2020/08/24 数字微镜阵列  扫描光刻  自由曲面光学透镜  成像线性错位  图形边缘  投影成像系统   大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者:  陈琦 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2017/09/17 扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位   光栅成像扫描光刻技术 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者:  俞斌 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2016/11/28 光栅成像  扫描光刻  4F系统  大尺寸   100nm线宽ArF步进扫描投影光刻机步进和同步扫描运动模型研究 学位论文  OAI收割 博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 胡松 收藏  |  浏览/下载：116/0  |  提交时间：2013/11/19 光学光刻  同步扫描  控制算法  工件台  对准  调平调焦   六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 15-21 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳; 田兴志 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 光刻  磁悬浮  x-y工件台  定位精度  步进扫描  逐场调平调焦   BEPC同步辐射软X射线光刻光束线的总体设计特性 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 1993, 期号: 01, 页码: 13-21 邵景鸿; 徐正良 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/03/11 X射线光刻  光束线  真空  扫描  铍窗