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	微机械槽板结构空气压膜阻尼的修正雷诺方程(英文) 期刊论文 OAI收割半导体学报, 2006, 期号: 03 孙远程; 鲍敏杭; 杨恒; 黄宜平收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2012/01/06 微机电系统扭转微镜面驱动器键合减薄
	新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟会议论文 OAI收割传感技术学报, 2006 刘玉菲; 赵本刚; 吴亚明; 王跃林收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2012/01/18 MOEMS技术磁场传感器扭转微镜面双光纤准直器
	InAs/GaAs表面量子点的压电调制反射光谱研究期刊论文 OAI收割物理学报, 2006, 期号: 09 余晨辉; 王茺; 龚谦; 张波; 陆卫收藏 \| 浏览/下载：29/0 \| 提交时间：2012/01/06 MOEMS技术磁场传感器扭转微镜面双光纤准直器