机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
• 光电技术研究所 [1]
• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 成果 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]
• 1996 [1]
• 1992 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于光学对准的光刻机投影物镜密集线焦深原位检测技术 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2006, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85, 90 施伟杰; 王向朝; 张冬青; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1524/173  |  提交时间：2009/09/18 激光技术  焦深  光学对准  投影光刻机  原位检测   光刻机对准数据的校正方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1996 郭黎 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2013/11/19 分步重复投影光刻机  掩模对准  基准校正  对准   大刚度超精密1:1扫描投影光刻机气浮工件台 成果  OAI收割 长春市优秀成果奖: 一等奖, 1992 主要完成人:  徐宏 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2014/11/24 气浮工作台  投影光刻机