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	大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法期刊论文 OAI收割光子学报, 2020, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 178-187 作者: 巩畅畅; 范斌; 邵俊铭; 刘鑫 \| 收藏 \| 浏览/下载：48/0 \| 提交时间：2021/05/11 接触式曝光掩模版形变量大口径衍射透镜高平面度
	飞秒激光微加工铬掩模版的实验研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008 作者: 韩泽华收藏 \| 浏览/下载：88/0 \| 提交时间：2016/11/28 飞秒激光微加工铬掩模版双脉冲有限元方法
	掩模传输系统的运动控制与预对准方法研究学位论文 OAI收割工学博士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院研究生院, 2007 作者: 刘云收藏 \| 浏览/下载：122/0 \| 提交时间：2015/09/02 掩模版四象限光电探测器粗预对准精细预对准显微视觉运动控制 Petri网 photo mask FQPD coarse pre-alignment fine pre-alignment microscopic vision motion control Petri net
	一种新的SOI射频集成电路结构与工艺期刊论文 OAI收割微电子学, 2004, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 569-571 作者: 韩郑生; 杨荣; 李俊峰; 钱鹤 \| 收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2010/05/26 Soi工艺射频集成电路 Ldmos Nmos 掩模版光刻硅衬底集成工艺 Cmos 有源