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	一种组合式位移放大机构的设计与仿真期刊论文 OAI收割机械传动, 2020, 卷号: 44, 期号: 11, 页码: 80-84+120 作者: 荣雪媛[1,2,3]; 周虹[1,2]; 官春林[1,2] \| 收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2021/05/11 放大机构柔性铰链刚度矩阵有限元仿真
	适用于FSM系统的菱形微位移放大机构设计期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2016, 期号: 10, 页码: 170-176 作者: 方楚; 郭劲; 徐新行; 姜振华; 王挺峰收藏 \| 浏览/下载：42/0 \| 提交时间：2017/09/17 快速反射镜压电陶瓷位移放大机构菱形结构
	前馈控制算法校正相移微动台非线性运动期刊论文 OAI收割电子测量与仪器学报, 2014, 期号: 8, 页码: 879-884 作者: 代雷; 王绍治; 刘健; 张春雷; 彭利荣收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2015/04/17 压电陶瓷柔性铰链位移放大机构非线性运动校正相移误差
	光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制期刊论文 OAI收割光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455 作者: 向阳; 齐克奇收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2013/03/11 光刻投影物镜波像差相移测量桥式放大机构有限元
	微量试剂分配压电叠堆泵的设计与实验期刊论文 OAI收割压电与声光, 2011, 期号: 03 陈立国; 邵超; 刘德利; 陈涛; 朱永杨收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2012/04/13 微量试剂分配微泵压电叠堆微位移放大机构
	两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用期刊论文 OAI收割半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 9, 页码: 1672-1675 叶超; 陈贤祥; 彭春荣; 陶虎; 夏善红收藏 \| 浏览/下载：12/0 \| 提交时间：2010/05/19 热驱动结构 V型梁阵列位移放大机构电场传感器
	大行程高分辨率微定位机构的设计分析期刊论文 OAI收割机械设计, 2005, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 22, 24 王勇; 刘志刚; 薄锋; 朱健强收藏 \| 浏览/下载：1601/378 \| 提交时间：2009/09/18 精密定位柔性放大机构压电／电致伸缩驱动 precision positioning flexible amplification mechanism piezo-/elect ricity caused lengthen and shorten drive
	大行程高分辨率微定位机构的设计分析期刊论文 OAI收割现代制造工程, 2005, 期号: 1, 页码: 94, 96 王勇; 刘志刚; 薄锋; 朱健强收藏 \| 浏览/下载：971/212 \| 提交时间：2009/09/18 精密定位柔性放大机构压电／电致伸缩驱动