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浏览/检索结果: 共16条，第1-10条 帮助

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基于Petri网的组合设备建模与调度综述 期刊论文  OAI收割
自动化学报, 2023, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 929-948
作者:  袁凤连;  黄波
  |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2024/05/09
基于堆叠降噪自编码器的神经–符号模型及在晶圆表面缺陷识别 期刊论文  OAI收割
自动化学报, 2022, 卷号: 48, 期号: 11, 页码: 2688-2702
作者:  刘国梁;  余建波
  |  收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2024/05/20
面向晶圆生产运输的多移动机器人调度与路径规划 学位论文  OAI收割
沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2021
作者:  
  |  收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2021/06/12
探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上) 期刊论文  OAI收割
仪器仪表标准化与计量, 2018, 期号: 4, 页码: 1-8
作者:  沈经
  |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2019/09/24
基于X射线的晶圆级器件辐照与辐射效应参数提取设备的设计与实现 期刊论文  OAI收割
发光学报, 2017, 卷号: 38, 期号: 6, 页码: 828-834
作者:  荀明珠;  李豫东;  郭旗;  何承发;  于新;  于钢;  文林;  张兴尧;  郭旗;  何承发;  李豫东;  文林
收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2017/08/01
晶圆表面微米级缺陷检测 期刊论文  OAI收割
计算机工程与设计, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 1671-1675
作者:  戴敬;  肖朋;  杨志家;  马继开
收藏  |  浏览/下载：54/0  |  提交时间：2015/09/15
Fe-Ni新型UBM薄膜的晶圆电镀工艺研究 期刊论文  OAI收割
金属学报, 2012, 期号: 10, 页码: 1273-1280
张昊; 吴迪; 张黎; 段珍珍; 赖志明; 刘志权
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2013/02/23
并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873
作者:  胡静涛
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/12/28
基于机器视觉的高精度晶圆对准系统 期刊论文  OAI收割
仪器仪表学报, 2011, 卷号: 32, 期号: S1, 页码: 195-198
作者:  欧锦军;  朱枫;  郝颖明;  吴清潇
收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2012/05/29
基于随机Petri网的集束装备模型及马尔可夫链分析 期刊论文  OAI收割
信息与控制, 2011, 卷号: 40, 期号: 4, 页码: 477-482
作者:  郑秀红;  胡静涛;  于海斌
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/05/29