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	基于科学级CCD的紫外成像系统设计与实现期刊论文 OAI收割中国激光, 2017, 卷号: 44 作者: 常振; 王煜; 司福祺; 赵敏杰; 江宇 \| 收藏 \| 浏览/下载：30/0 \| 提交时间：2020/11/23 传感器快速曝光电荷耦合器件驱动时序帧转移成像技术紫外设备
	基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计期刊论文 OAI收割制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50 作者: 佟军民; 胡松收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2016/11/23 掩模移动曝光技术接近式光刻机对准系统对准精度
	任意排布、不规则连续面形微光学元件的成形方法研究学位论文 OAI收割博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009 董小春收藏 \| 浏览/下载：89/0 \| 提交时间：2013/11/19 微光学不规则面形微光刻技术曝光阈值掩模移动滤波
	HSQ用于电子束曝光的性能分析期刊论文 OAI收割微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4，10-13 作者: 赵珉; 陈宝钦; 刘明; 谢常青; 朱效立 \| 收藏 \| 浏览/下载：44/0 \| 提交时间：2010/05/27 Hsq（hydrogen Silsesquioxane）电子束曝光技术抗蚀剂工艺邻近效应
	掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究学位论文 OAI收割硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007 佟军民收藏 \| 浏览/下载：74/0 \| 提交时间：2013/11/19 掩模移动曝光技术精密定位工件台移动直线性移动正交性
	一种高性能硅片曝光场分布优化算法期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 403, 408 何乐; 王向朝收藏 \| 浏览/下载：1394/241 \| 提交时间：2009/09/18 激光技术光刻技术曝光场分布寻优算法产率良率
	光聚物高度全息存储性能及其盘状数字及其盘状数字全息存储技术的研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2003 作者: 黄明举收藏 \| 浏览/下载：48/0 \| 提交时间：2016/11/28 盘状数字全息存储全息光盘光致聚合物角度复用技术动态范围曝光灵敏度
	电子束曝光技术发展概况期刊论文 OAI收割世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 3,27-29 作者: 刘明; 张建宏 \| 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2010/05/25 电子束曝光技术微电子技术 Sem 高斯扫描系统成型束抗蚀剂
	电子束曝光技术的应用期刊论文 OAI收割世界产品与技术, 2002, 期号: 4, 页码: 2,30_31 作者: 刘明; 张建宏 \| 收藏 \| 浏览/下载：14/0 \| 提交时间：2010/05/25 集成电路掩膜版微型器件制造低微电子结构电子束曝光技术应用