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2006 [1]
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学科主题
通信与信息系统 [1]
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大面积平行光高均匀度曝光机用自由曲面复眼设计
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2017, 页码: 1-13
作者:
陈忠雨
;
尹韶云
;
孙秀辉
;
江海波
;
杜春雷
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2018/03/16
光学设计
高均匀度
自由曲面
曝光机
复眼
基于接近式光刻机的掩模移动曝光对准系统设计
期刊论文
OAI收割
制造技术与机床, 2015, 期号: 8, 页码: 47-50
作者:
佟军民
;
胡松
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/23
掩模移动曝光技术
接近式光刻机
对准系统
对准精度
基于FPGA的数字高清CCD摄像机技术研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院西安光学精密机械研究所., 2009
范铁道
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2011/10/09
数字高清CCD摄像机
FPGA+ADC
自动曝光算法
高清显示
电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究
学位论文
OAI收割
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
乔俊仙
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浏览/下载:116/0
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提交时间:2013/11/19
激光干涉仪
精密工件台
电子束曝光机
误差分析
误差补偿
电子束和接触式曝光机的混合曝光技术
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2002, 期号: 1, 页码: 5,13_17
作者:
陈宝钦
;
刘明
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2010/05/25
接触式曝光机
增大激光侦察告警系统作用距离的方法
期刊论文
OAI收割
光机电信息, 2001, 期号: 06, 页码: 14-18
于前洋
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/03/11
激光侦察告警:5657
作用距离:5387
告警系统:3426
信号杂波比:3363
时间选通:1957
脉冲激光:1956
CCD器件:1486
曝光时间:1439
激光测距机:1419
激光光斑:1397
电子束和接触式曝光机的匹配和混合曝光
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 4,416-419
作者:
刘明
;
陈宝钦
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/05/25
I-线光致抗蚀剂
电子束 接触式曝光机
混合曝光
单片机智能控制摄影自动调光系统
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 1995, 期号: 05, 页码: 98-102
于惠珠
;
王岚
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2013/03/11
单片机
自动调光
控制系统
曝光量
变密度盘
研究快速现象的高速干涉摄影系统
期刊论文
OAI收割
力学学报, 1981, 期号: 2, 页码: 181-186
作者:
王春奎
;
傅裕寿
收藏
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浏览/下载:1064/53
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提交时间:2009/08/03
干涉摄影
He一Ne激光
错位干涉仪
曝光时间
超高速摄影机
激光辐照
光斑尺寸
大口径
光学匹配