机构

• 高能物理研究所 [2]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2004 [3]

学科主题

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1．0 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30,35 作者:  张菊芳;  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2010/05/26 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  面向对象编程   50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计 期刊论文  OAI收割 核技术, 2004, 期号: 5, 页码: 321-324 作者:  谢常青;  陈大鹏;  李兵;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/01/25 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  光刻分辨率   深亚微米X射线光刻模拟软件XLSS1.0 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 2004, 期号: 4, 页码: 27-30+35 作者:  谢常青;  王德强;  陈大鹏;  叶甜春;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/12/25 X射线光刻  同步辐射  束衍生法  面向对象编程