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	Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究期刊论文 OAI收割物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225 作者: 谢耀收藏 \| 浏览/下载：33/0 \| 提交时间：2014/03/07 极紫外光刻光源毛细管放电磁流体力学 Xe等离子体
	“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统期刊论文 OAI收割中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550 作者: 姜振华; 郭劲; 王挺峰收藏 \| 浏览/下载：160/0 \| 提交时间：2014/03/07 极紫外光源 CO2激光器参数监测指向控制
	用于光刻的EUV光源期刊论文 OAI收割半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16 赵环昱; 赵红卫 \| 收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2010/10/29 光刻极紫外光源放电等离子激光等离子体 Ecr等离子体