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高次谐波极紫外可调谐单色成像光谱仪在材料光学常数量测中的应用(特邀) 期刊论文  OAI收割
光学学报/Acta Optica Sinica, 2026, 卷号: 46, 期号: 01, 页码: 257-271
作者:  
张睿;  李逵;  杨皓;  崔峻烽;  谢赟
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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  
谢耀
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“LPP-EUV”光源中的高功率CO_2激光监测与控制系统 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2013, 期号: 04, 页码: 544-550
作者:  
姜振华;  郭劲;  王挺峰
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用于光刻的EUV光源 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16
赵环昱; 赵红卫
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