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• 上海微系统与信息技... [15]
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• 期刊论文 [12]
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浏览/检索结果: 共18条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2012 翟雷应 收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2013/04/24 MEMS  Fabry-Perot腔可调滤波器  光纤相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器   基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文  OAI收割 光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291 刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2013/02/22 可调光衰减器(VOA)  微光机电系统(MEMS)  微镜  垂直梳齿驱动器   无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781 翟雷应; 徐静; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2013/02/22 微机电系统(MEMS)  光相位调制器  无交叠垂直梳齿驱动器  平动微镜  保角变换法  静电驱动   基于MEMS静电微镜驱动器的光纤相位调制器 期刊论文  OAI收割 光电子.激光, 2012, 期号: 9, 页码: 1635-1643 翟雷应; 徐静; 吴亚明; 刘闯; 雷洪波; 陶大勇 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2013/02/22 光纤相位调制器  MEMS  垂直梳齿  微镜  光纤传感器   基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 03 肖育华; 宋朝辉; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2012/04/13 蛇形曲折梁  塑性变形  垂直驱动  静电梳齿驱动器   低热机械噪声MEMS加速度计设计 期刊论文  OAI收割 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 杨丹琼; 陈志龙; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/13 加速度计  热机械噪声  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   基于Si塑性变形的二维驱动器的设计 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2011, 期号: 08 陈琳; 李伟; 戈肖鸿; 车录锋 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2012/04/13 二维驱动器  塑性变形  绝缘填充槽  梳齿驱动  垂直位错   低热机械噪声的梳齿式加速度计 期刊论文  OAI收割 仪表技术与传感器, 2011, 期号: 10 杨丹琼; 徐静; 钟少龙; 李四华; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/04/13 低噪声加速度计  体硅工艺  梳齿电容  滑膜阻尼   基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 肖育华 收藏  |  浏览/下载：129/0  |  提交时间：2012/03/06 蛇形曲折梁  塑性变形  垂直驱动  静电梳齿驱动器   带Turbo码的OFDM频域链路自适应方案 期刊论文  OAI收割 华东理工大学学报(自然科学版), 2009, 期号: 01 邱赐云; 戎璐; 俞文琰 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/01/06 MEMS  梳齿驱动器  侧向稳定性  预弯曲梁