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机构
上海微系统与信息技术... [9]
采集方式
OAI收割 [9]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [3]
发表日期
2012 [3]
2011 [2]
2010 [1]
2009 [1]
2008 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共9条,第1-9条
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基于MEMS技术的可调谐光滤波器及相位调制器研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
翟雷应
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浏览/下载:76/0
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提交时间:2013/04/24
MEMS
Fabry-Perot腔可调滤波器
光纤相位调制器
无交叠垂直梳齿驱动器
基于MEMS微镜的可调光学衰减器
期刊论文
OAI收割
光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291
刘英明
;
徐静
;
钟少龙
;
翟雷应
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:57/0
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提交时间:2013/02/22
可调光衰减器(VOA)
微光机电系统(MEMS)
微镜
垂直梳齿驱动器
无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2012, 期号: 8, 页码: 1772-1781
翟雷应
;
徐静
;
钟少龙
;
吴亚明
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2013/02/22
微机电系统(MEMS)
光相位调制器
无交叠垂直梳齿驱动器
平动微镜
保角变换法
静电驱动
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器
期刊论文
OAI收割
传感器与微系统, 2011, 期号: 03
肖育华
;
宋朝辉
;
戈肖鸿
;
车录锋
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/04/13
蛇形曲折梁
塑性变形
垂直驱动
静电梳齿驱动器
基于Si塑性变形的二维驱动器的设计
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2011, 期号: 08
陈琳
;
李伟
;
戈肖鸿
;
车录锋
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/04/13
二维驱动器
塑性变形
绝缘填充槽
梳齿驱动
垂直位错
基于硅塑性变形的蛇形梁垂直梳齿驱动器的设计与制作
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010
肖育华
收藏
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浏览/下载:128/0
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提交时间:2012/03/06
蛇形曲折梁
塑性变形
垂直驱动
静电梳齿驱动器
带Turbo码的OFDM频域链路自适应方案
期刊论文
OAI收割
华东理工大学学报(自然科学版), 2009, 期号: 01
邱赐云
;
戎璐
;
俞文琰
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
MEMS
梳齿驱动器
侧向稳定性
预弯曲梁
CFD-ACE+软件对PCR微芯片传热过程的数值模拟和分析
期刊论文
OAI收割
科技信息(科学教研), 2008, 期号: 15
陈飞
;
王为术
;
李具峰
;
邹志青
;
金庆辉
;
赵建龙
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
梳齿驱动器
侧向稳定性
MEMS
大周期调谐比梳齿静电驱动MEMS可调谐光栅
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
明安杰
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
微机电系统
大周期调谐
可调谐光栅
梳齿驱动器
纵向稳定性