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• 上海微系统与信息技术... [2]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [3]

发表日期

• 2010 [1]
• 2005 [1]
• 2001 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硅中纳米空腔的形成及其在合成 SOI 材料中的应用 学位论文  OAI收割 : 中国科学院研究生院, 2010 李炳生   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2011/06/29 离子注入  纳米空腔  注氧隔离技术  Soi  离子辐照   SGOI材料的SIMOX制备技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 陈志君   收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2012/03/06 掩盖注氧隔离技术  氧化增强注氧隔离技术  绝缘体上的锗硅  应变硅     SOI关键参数的光学表征技术——理论研究及工程实用化 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所  , 2001 李林   收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上硅  红外反射技术  注氧隔离SOI  智能剥离SOI