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机构
上海微系统与信息技术... [6]
近代物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
学位论文 [4]
期刊论文 [3]
发表日期
2010 [1]
2007 [1]
2006 [1]
2004 [1]
2003 [1]
2002 [1]
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硅中纳米空腔的形成及其在合成 SOI 材料中的应用
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2010
李炳生
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2011/06/29
离子注入
纳米空腔
注氧隔离技术
Soi
离子辐照
长波长VCSEL结构中的欧姆接触工艺
期刊论文
OAI收割
半导体光电, 2007, 期号: 05
刘成
;
曹春芳
;
劳燕锋
;
曹萌
;
吴惠桢
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2012/01/06
注氧隔离
绝缘体上硅(SOI)
总剂量辐射效应
MOS晶体管
CNT-FED点阵显示器件的研制及其驱动电路设计
期刊论文
OAI收割
光电子技术, 2006, 期号: 02
戴丽娟
;
冯涛
;
蒋军
;
王曦
;
柳襄怀
;
李琼
;
张峰
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/01/06
离子注入
注氧隔离
绝缘体上硅(SOI)
总剂量辐射效应
感性负载驱动控制IC版图设计
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2004, 期号: 10
王家斌
;
高勇进
;
黄绪江
;
张炜
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2012/01/06
氧氮共注
氮氧共注隔离
SIMON
SOI
注入剂量
低剂量超薄SIMOX圆片制备技术的应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2003
王湘
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上的硅(SOI)
注氧隔离(SIMOX)
埋层(BOX)
退火
正电子湮没
水等离子体离子注入形成SOI结构材料的研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2002
陈静
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上的硅(SOI)
离子注入
等离子体
注氧隔离(SIMOX)
SOI关键参数的光学表征技术——理论研究及工程实用化
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所 , 2001
李林
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘体上硅
红外反射技术
注氧隔离SOI
智能剥离SOI