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采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2018 [2]
• 2015 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]

学科主题

• 光学工程 [1]

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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文  OAI收割 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  毕丹丹   |  收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2019/09/23 光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命   浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文  OAI收割 中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764 作者:  毕丹丹;  张立超;  时光   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2019/09/17 浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命   偏振性能测试方法研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  侯梦晗 收藏  |  浏览/下载：91/0  |  提交时间：2015/07/30 浸没式光刻  Stokes 参量  偏振测量  旋转1/4 波片  误差校准   国际主流光刻机研发的最新进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2007, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 57, 64 袁琼雁; 王向朝 收藏  |  浏览/下载：1083/153  |  提交时间：2009/09/18 光刻机  双工件台技术  偏振光照明  折反式物镜  浸没式光刻  下一代光刻  lithographic tools  dual -stage technology  polarized illumination  catadioptric lens  immersion lithography  next generation lithography   浸没式光刻技术的研究进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 8, 页码: 13, 20 袁琼雁; 王向朝; 施伟杰; 李小平 收藏  |  浏览/下载：1237/188  |  提交时间：2009/09/18 光刻  浸没式光刻  投影物镜  浸没液体  偏振光照明  气泡   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文  OAI收割 作者:  诸波尔   |  收藏  |  浏览/下载：158/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)