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机构
微电子研究所 [2]
上海微系统与信息技术... [1]
工程热物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2015 [1]
2009 [1]
2000 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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不同旋流角度对燃气轮机新型燃料杆燃料混合特性的影响
会议论文
OAI收割
2015年中国工程热物理学会气动学学术年会, 2015
作者:
夜毅
;
井文明
;
谢法
;
任静
;
蒋洪德
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2016/01/14
预混燃烧室
单帧单曝光
旋流器
燃料混合效果
相变存储器电子束曝光工艺研究与新结构制备
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
吕士龙
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2012/03/06
相变存储器
电子束曝光
混合光刻
新结构
新型绝热层
深亚微米栅HFET器件工艺研究
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 3, 页码: 4,193-196
作者:
和致经
;
郑英奎
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2010/05/25
混合曝光
Hfet
T型栅
工艺研究
深亚微米栅
电子束和接触式曝光机的匹配和混合曝光
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 4,416-419
作者:
刘明
;
陈宝钦
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提交时间:2010/05/25
I-线光致抗蚀剂
电子束 接触式曝光机
混合曝光