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采集方式
OAI收割 [24]
内容类型
期刊论文 [10]
会议论文 [9]
学位论文 [5]
发表日期
2020 [1]
2016 [1]
2012 [3]
2011 [1]
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学科主题
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共24条,第1-10条
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磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究
期刊论文
OAI收割
表面技术, 2020, 卷号: 49.0, 期号: 1.0, 页码: 72-78
作者:
崔勇
;
李长记
;
李静
;
熊良银
;
刘实
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2021/02/02
磁控溅射法
锆合金
铁铬铝钇薄膜
高温水蒸气环境
氧化铝膜
腐蚀性能
Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
张硕
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/06/12
AlN
溅射法
Si(100)衬底
氧污染
椭偏测量
溅射参数对AI/Si界面热导的影响
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
王建立
;
张春伟
;
包加健
;
赵伟伟
;
王威
;
朱建军
;
周欣欣
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2013/03/21
界面热导
飞秒激光热反射法
薄膜厚度
磁控溅射
俄歇电子谱
磁控溅射法制备自洁太阳能薄膜反射材料
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
徐勇军
;
杨晓西
;
蔡其文
;
廖俊旭
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2013/03/21
太阳能反射材料
自清洁
Ag-SiO2-TiO2薄膜
磁控溅射法
磁控溅射法制备自洁太阳能薄膜反射材料
会议论文
OAI收割
2012
作者:
杨晓西
;
蔡其文
;
廖俊旭
;
徐勇军
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2013/03/21
太阳能反射材料
自清洁
Ag-sio2-tio2薄膜
磁控溅射法
磁控溅射法制备含氢非晶碳膜及其结构和性能研究
学位论文
OAI收割
工学硕士: 中国科学院研究生院, 2011
王永霞
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浏览/下载:73/0
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提交时间:2012/11/09
含氢非晶碳膜
磁控溅射法
内应力
热稳定性
Hydrogenated amorphous carbon film
Magnetron sputtering
Internal stress
Thermal stability
外加电磁直流磁控溅射法低温沉积ZnO:Al薄膜的研究
会议论文
OAI收割
2006北京国际材料周暨中国材料研讨会, 北京, 2006-09
张小波
;
裴志亮
;
肖金泉
;
宫骏
;
孙超
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2013/08/21
透明导电薄膜
直流磁控溅射法
电磁线圈
低温沉积
电阻率
PMNT铁电薄膜的制备及性能研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2006
作者:
刘爱云
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2012/07/11
Pmnt薄膜
铁电薄膜
铁电性能
介电性能
光学性能
化学溶液法
磁控溅射法
相变存储器器件单元测试系统
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2006, 期号: 08
梁爽
;
宋志棠
;
刘波
;
陈小刚
;
封松林
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2012/01/06
光伏材料
CIS/CIGS
缺陷
蒸镀法
溅射法
磁控反应溅射法制备渐变折射率薄膜的模型分析
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 4842, 4845
沈自才
;
邵建达
;
王英剑
;
范正修
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浏览/下载:1097/231
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提交时间:2009/09/22
渐变折射率
gradient-index
磁控反应溅射
reactive magnetron sputtering
模型
modeling
反应溅射法
薄膜
制备
模型分析
磁控
变化规律
反应气体