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机构
半导体研究所 [4]
兰州化学物理研究所 [2]
金属研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [7]
内容类型
学位论文 [5]
期刊论文 [2]
发表日期
2018 [2]
2017 [1]
2016 [1]
2015 [1]
2007 [1]
1992 [1]
更多
学科主题
半导体材料 [4]
光电子学 [1]
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半导体物理 [1]
微电子学 [1]
材料科学与物理化学 [1]
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反应磁控溅射制备AlN薄膜及其耐腐蚀性能研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
王雄伟
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基于溅射AlN模板的深紫外LED制备技术的研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:
赵璐
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高Al组分AlGaN材料及紫外LED研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
张硕
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Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
张硕
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新型衬底氮化物LED外延及发光机制的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2015, 2015
作者:
安平博
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Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 204-209
作者:
张广安
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离子束增强反应磁控溅射AIN膜的组织结构及光学特性
期刊论文
OAI收割
材料科学进展, 1992, 期号: 3, 页码: 236-240
王浩,黄荣芳,洪瑞江,吴杰,闻立时
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