机构

• 半导体研究所 [4]
• 兰州化学物理研究所 [2]
• 金属研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [7]

内容类型

• 学位论文 [5]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2018 [2]
• 2017 [1]
• 2016 [1]
• 2015 [1]
• 2007 [1]
• 1992 [1]
• 更多

学科主题

• 半导体材料 [4]
• 光电子学 [1]
• 半导体器件 [1]
• 半导体物理 [1]
• 微电子学 [1]
• 材料科学与物理化学 [1]
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筛选

浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 反应磁控溅射制备AlN薄膜及其耐腐蚀性能研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2018 作者:  王雄伟   |  收藏  |  浏览/下载：175/0  |  提交时间：2019/10/31 反应磁控溅射  AlN薄膜  腐蚀  极化曲线  电化学阻抗谱  Reactive magnetron sputtering  AlN film  Corrosion  Polarization curve  Electrochemical impedance spectroscopy   基于溅射AlN模板的深紫外LED制备技术的研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院研究生院, 2018 作者:  赵璐   |  收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/05/24 溅射aln+algan基深紫外led+大规模生产+低成本   高Al组分AlGaN材料及紫外LED研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017 张硕 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2017/06/05 AlGaN  紫外LED  晶体质量  溅射AlN  侧向外延  金属气相化合物沉积   Si基溅射法AlN缓冲层薄膜制备研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 张硕 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/06/12 AlN  溅射法  Si（100）衬底  氧污染  椭偏测量   新型衬底氮化物LED外延及发光机制的研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京, 北京: 中国科学院研究生院, 中国科学院研究生院, 2015, 2015 作者:  安平博   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2015/12/02 非晶玻璃衬底  GaN  AlN  石墨烯  选区生长  溅射  生长机制  非晶玻璃衬底  Gan  Aln  石墨烯  选区生长  溅射  生长机制   Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究 期刊论文  OAI收割 摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 204-209 作者:  张广安 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/11/01 磁控溅射  Al/AlN多层膜  摩擦磨损性能  magnetron sputtering  Al/AlN multilayer  friction and wear behavior   离子束增强反应磁控溅射AIN膜的组织结构及光学特性 期刊论文  OAI收割 材料科学进展, 1992, 期号: 3, 页码: 236-240 王浩,黄荣芳,洪瑞江,吴杰,闻立时 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2012/04/12 薄膜  AlN  磁控溅射