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机构
上海光学精密机械研究... [7]
长春光学精密机械与物... [3]
采集方式
OAI收割 [10]
内容类型
期刊论文 [6]
学位论文 [4]
发表日期
2014 [4]
2013 [1]
2009 [1]
2007 [1]
2002 [2]
学科主题
材料工程 [1]
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浏览/检索结果:
共10条,第1-10条
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Ⅰ型-β无掩模激光直写光刻系统
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2014
作者:
胡永璐
收藏
  |  
小型激光直写光刻系统
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 279
作者:
胡永璐
;
徐文东
;
王闯
;
赵成强
;
刘涛
收藏
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小型激光直写光刻系统
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 279
作者:
胡永璐
;
徐文东
;
王闯
;
赵成强
;
刘涛
收藏
  |  
小型激光直写光刻系统
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 279
作者:
胡永璐
;
徐文东
;
王闯
;
赵成强
;
刘涛
收藏
  |  
激光热刻蚀材料的制备及其直写光刻性质研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013
作者:
收藏
  |  
无掩模激光直写纳米光刻机
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
范永涛
收藏
  |  
一种新型分度轴精度分析
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2007, 期号: 8
王惠卿
收藏
  |  
离焦激光直写光刻工艺研究
期刊论文
OAI收割
中国激光, 2002, 期号: 09, 页码: 850-854
作者:
赵晶丽
;
卢振武
收藏
  |  
直角坐标和极坐标系一体的激光直写设备(英文)
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2002, 期号: 05, 页码: 616-619
作者:
卢振武
收藏
  |  
基于激光热模光刻效应的微纳结构制备及图形转移
学位论文
OAI收割
作者:
俞小哲
  |  
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