机构

• 长春光学精密机械与物... [4]
• 西安光学精密机械研究... [1]
• 近代物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [6]

内容类型

• 期刊论文 [5]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2022 [1]
• 2007 [1]
• 2005 [2]
• 2000 [1]
• 1996 [1]

学科主题

• 物理学::光学 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 非平坦样品激光诱导击穿光谱增强特性与机理研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2022 作者:  雷冰莹   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2022/06/21 激光诱导击穿光谱  激光等离子体  非平坦样品  单光源双光束增强  火花和电弧放电协同辅助增强   用于光刻的EUV光源 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16 赵环昱; 赵红卫   |  收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/10/29 光刻  极紫外光源  放电等离子  激光等离子体  Ecr等离子体   水靶激光等离子体光源11～20nm波段光谱实验 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2005, 期号: 03, 页码: 272-275 作者:  尼启良;  陈波 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 激光等离子体光源  光谱测量  软X射线  水靶   激光等离子体光源软X射线反射率计 期刊论文  OAI收割 光谱学与光谱分析, 2005, 期号: 03, 页码: 453-455 作者:  尼启良;  陈波 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线  激光等离子体光源  反射率计   软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线投影光刻  多层膜反射镜  软X射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源   正入射多层膜软X射线显微成像系统的实验研究 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 1996, 期号: 06, 页码: 666-668 作者:  陈星旦 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 显微成像系统:7213  多层膜:5748  软X射线:2657  Ｘ射线:1532  正入射:1527  实验研究:1060  反射镜:843  激光等离子体光源:763  工作波长:633  极限分辨率:597