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	Visibility的航空遥感相机自动焦面检测方法期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 236-241 作者: 郑丽娜; 李延伟; 远国勤; 张洋 \| 收藏 \| 浏览/下载：69/0 \| 提交时间：2020/08/24 SFV Visibility 焦面检测航空遥感相机
	空间光学遥感器检测中大口径平行光管应用技术研究学位论文 OAI收割博士: 中国科学院大学, 2014 李响收藏 \| 浏览/下载：84/0 \| 提交时间：2015/05/03 检测大口径平行光管焦面位置检测波像差消除光学遥感器
	拍瓦激光在线焦斑检测技术的研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2013 作者: 金博收藏 \| 浏览/下载：28/0 \| 提交时间：2016/11/28 拍瓦激光在线焦斑检测离轴抛物面镜光栅拼接
	计算全息法测量长焦透镜面形和焦距期刊论文 OAI收割中国光学与应用光学, 2009, 期号: 6 作者: 许文斌; 刘华; 卢振武; 王泰升收藏 \| 浏览/下载：24/0 \| 提交时间：2012/09/25 光学设计计算全息法长焦透镜光学面形检测
	基于镜像焦面检测对准标记的套刻性能原位测量技术期刊论文 OAI收割光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 398, 402 施伟杰; 王向朝; 张冬青; 马明英; 王帆收藏 \| 浏览/下载：1069/144 \| 提交时间：2009/09/18 光学测量原位检测套刻性能光刻机焦面检测对准标记
	一种新的光刻机像质参数热漂移检测技术期刊论文 OAI收割中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 1668, 1672 张冬青; 王向朝; 施伟杰; 马明英; 王帆收藏 \| 浏览/下载：1353/253 \| 提交时间：2009/09/18 测量 measurement 最佳焦面热漂移 thermal drift of best focus 放大倍率热漂移 thermal drift of magnification 投影物镜 projection lens 光刻机 lithographic tool 原位检测 in-situ measurement