机构

• 长春应用化学研究所 [3]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 1998 [1]
• 1983 [2]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 杂质分布对多晶硅薄膜电性能的影响 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 1998, 卷号: 18, 期号: 3, 页码: 216-219 王岚; 刘雅言 收藏  |  浏览/下载：115/5  |  提交时间：2010/11/04 多晶硅薄膜  杂质分布  剖面分析  电阻率   变换工艺条件对C.V.D法制得的多晶硅薄膜电阻率及其剖面分布的影响 期刊论文  OAI收割 太阳能学报, 1983, 卷号: 4, 期号: 3, 页码: 325-329 韩桂林; 王岚; 刘连元 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2012/06/15 电阻率剖面  p型  成膜温度  面电阻率  剖面分布  n型  多晶硅薄膜  变换工艺   多晶硅薄膜(CVD)中硼杂质的剖面分析 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 1983, 期号: 1, 页码: 32-34 韩桂林; 王岚; 刘连元; 刘雅言; 单玉臣 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2012/06/15 剖面分析  掺杂浓度  剖面分布  多晶硅薄膜  多晶硅膜  电阻率  杂质分布