机构

• 光电技术研究所 [3]
• 微电子研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 学位论文 [3]
• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2004 [1]
• 2001 [1]
• 2000 [1]
• 1998 [1]
• 1997 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 1-4,39 作者:  陈宝钦;  冯伯儒;  张锦;  宗德蓉;  刘娟   |  收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/05/26 激光光刻技术  相移掩模  准分子光刻  无铬相移掩模  交替相移掩模  衰减相移掩模  混合相移掩模   提高光刻图形质量的双曝光技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2001 苏平 收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2013/11/19 双曝光技术  相移掩模  光学邻近效应校正  分辨率  焦深   KrF准分子激光相移掩模光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000 孙方 收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2013/11/19 光刻  KrF准分子激光  相移掩模  分辨率  焦深   准分子激光光刻相移掩模的智能设计研究 学位论文  OAI收割 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1998 扬代明 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/11/19 准分子激光  相移掩模  专家系统  部分相干成像   相移掩模的制作 期刊论文  OAI收割 微细加工技术, 1997, 期号: 1, 页码: 9，8-16 作者:  冯伯儒;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/05/25 光学曝光  相移掩模  掩模制造