机构

• 近代物理研究所 [2]
• 长春光学精密机械与物... [1]
• 电子学研究所 [1]
• 上海应用物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2017 [1]
• 2013 [1]
• 2008 [1]
• 2007 [1]
• 2005 [1]

学科主题

• 传感器 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种压强稳定的多级真空差分系统 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术学报, 2017, 期号: 10, 页码: "951-956" 作者:  刘俊男;  吴仁智;  薛松;  陈家华;  薛超凡   |  收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2018/08/17 自由电子激光器  光束线  真空差分  压强反馈调节   谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013 曹明威 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/06/08 MEMS气压传感器  “H”型谐振梁  差分检测  圆片级真空封装  阳极键合   四级差分真空系统压力分布计算 期刊论文  OAI收割 真空与低温, 2008, 卷号: 2008, 期号: 01, 页码: 49-52 张素平; 杨晓天; 王群要; 蒙峻   |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/10/29 四级差分真空系统  压力分布  Pspice仿真  Hirfl   大孔径差分真空系统中充气气流效应分析 期刊论文  OAI收割 真空, 2007, 卷号: 2007, 期号: 05, 页码: 48-51 张素平; 杨晓天; 蒙峻; 张军辉; 赵玉刚; 张喜平; 胡振军; 侯生军   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/10/29 充气气流效应  大孔径  差分真空系统  差分比  分子流   反射率计超高真空动密封馈入系统的研制 期刊论文  OAI收割 真空, 2005, 期号: 03, 页码: 43-44 作者:  刘伟 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 超高真空  密封  馈入系统  差分