机构

• 金属研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]
• 成果 [1]

发表日期

• 2003 [1]
• 2002 [1]
• 2001 [1]
• 1985 [1]

学科主题

• 半导体材料 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 压痕诱发GaAs塑性变形区的层错结构 期刊论文  OAI收割 材料研究学报, 2003, 期号: 4, 页码: 359-364 李井润,李志成,刘路,徐永波 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/12 无机非金属材料  砷化镓单晶  压痕  塑性变形  层错  电子显微镜   SI GaAs阈值电压均匀性与PL mapping均匀性的关系研究 会议论文  OAI收割 第十二届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议, 2002 朱朝嵩; 张有涛; 夏冠群; 惠峰 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/18 阈值电压 均匀性 半导体材料 砷化镓   全新深亚微米X射线T型栅工艺 期刊论文  OAI收割 北京同步辐射装置年报, 2001, 期号: 1, 页码: 3，142-144 作者:  韩勇;  彭良强;  谢常青;  陈大鹏;  孙加兴   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2010/05/25 Gaas  半导体材料  亚微米x射线t型栅工艺  制造  半导体器件  X射线光刻  同步辐射  砷化镓   提高砷化镓材料质量的研究 成果  OAI收割 国家科技进步奖: 二等奖, 1985 林兰英; 彭瑞伍; 林耀望; 莫培根; 方兆强 收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2010/04/13 砷化镓材料