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• 上海微系统与信息技术... [2]
• 广州能源研究所 [1]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [2]
• 会议论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2012 [1]
• 2003 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究 期刊论文  OAI收割 新能源进展, 2016, 期号: 5, 页码: 345-350 作者:  杜鑫;  苗蕾;  刘呈燕;  王潇漾   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2017/12/31 热电材料  硅锗薄膜  纳米结构  热电性能   SiGe薄膜的RPCVD负载影响及特性研究 期刊论文  OAI收割 材料导报, 2012, 期号: 14, 页码: 22-24+32 陈达; 刘林杰; 薛忠营; 刘肃; 贾晓云 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2013/02/22 薄膜  减压化学气相沉积  硅锗  负载影响   超薄SOI上应变锗硅材料的生长 会议论文  OAI收割 第十三届全国半导体集成电路、硅材料学术会, 2003 狄增峰; 张苗; 吴雁军; 安正华; 朱鸣; 刘卫丽; 林成鲁 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2012/01/18 超薄SOI 锗硅材料 SiGe薄膜