机构

• 微电子研究所 [4]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2006 [1]
• 2005 [1]
• 2000 [2]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择提交时间升序提交时间降序发表日期升序发表日期降序题名升序题名降序作者升序作者降序 侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 340-342 作者:  谢常青;  刘明;  陈宝钦;  叶甜春   |  收藏  |   100nm分辨率交替式移相掩模设计 期刊论文  OAI收割 固体电子学研究与进展, 2005, 卷号: 25, 期号: 2, 页码: 5，260-264 作者:  陆晶;  陈宝钦;  刘明;  龙世兵;  李泠   |  收藏  |   深亚微米光学光刻工艺技术 期刊论文  OAI收割 电子工业专用设备, 2000, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 5，8-12 作者:  谢常青   |  收藏  |   下一代光学掩模制造技术 期刊论文  OAI收割 微电子技术, 2000, 卷号: 28, 期号: 6, 页码: 4，1-4 作者:  谢常青   |  收藏  |