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	金属铌表面${\\rm{Ar/}}{{\\rm{O}}_2}$等离子体在线清洗的实验研究期刊论文 OAI收割四川大学学报. 自然科学版, 2020, 卷号: 57, 期号: 6, 页码: 1147-1151 作者: 李敏; 杨黎; 陈建军; 陈波; 王宏彬 \| 收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2021/12/10 Plasma cleaning Online monitoring Work function Residual gas 等离子体清洗在线监测功函数残余气体
	同步辐射光束线辉光放电清洗研究学位论文 OAI收割中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2019 作者: 李波 \| 收藏 \| 浏览/下载：51/0 \| 提交时间：2019/12/24 同步辐射光束线等离子体清洗碳污染辉光放电数值模拟
	常压冷等离子体清洗技术在微电子工业中的应用期刊论文 OAI收割清洗世界, 2005, 卷号: 21, 期号: 4, 页码: 4，33-36 作者: 王守国; 赵玲利 \| 收藏 \| 浏览/下载：18/0 \| 提交时间：2010/05/26 常压等离子体微电子清洗应用
	常压射频低温冷等离子体清洗光刻胶研究期刊论文 OAI收割半导体技术, 2004, 卷号: 29, 期号: 12, 页码: 26-29 作者: 赵玲利; 李海江; 王守国; 叶甜春 \| 收藏 \| 浏览/下载：15/0 \| 提交时间：2010/05/26 常压射频等离子体光刻胶清洗
	常压射频冷等离子体清洗技术介绍期刊论文 OAI收割清洗世界, 2004, 卷号: 20, 期号: 12, 页码: 32-34 作者: 王守国 \| 收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2010/05/26 常压冷等离子体喷枪清洗机理应用
	聚变装置中的真空问题期刊论文 OAI收割真空科学与技术, 1982, 期号: 2, 页码: 102-108 作者: 程渭纶收藏 \| 浏览/下载：23/0 \| 提交时间：2015/12/14 托卡马克装置放电清洗等离子体电流抽气设备真空室密封结构解吸率偏滤器真空技术受控核聚变