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机构
兰州化学物理研究所 [2]
金属研究所 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2012 [1]
2005 [1]
2003 [1]
1991 [1]
学科主题
材料科学与物理化学 [2]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
张林
收藏
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用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究
期刊论文
OAI收割
摩擦学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 298-302
作者:
李红轩
收藏
  |  
Si衬底的氮化处理对ZnO薄膜质量的影响
期刊论文
OAI收割
光电子·激光, 2003, 期号: 08, 页码: 783-786
作者:
申德振
收藏
  |  
工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响
期刊论文
OAI收割
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62
张平余
;
刘洪
;
丛秋滋
;
张绪寿
;
王秀娥
;
顾则鸣
收藏
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