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应用于空间惯性传感器的压电驱动器的性能测试
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 02, 页码: 344-353
作者:
李华东
;
齐克奇
;
石强
;
王少鑫
;
王智
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浏览/下载:59/0
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提交时间:2021/07/06
精密驱动
尺蠖运动
压电驱动器
驱动力
位移分辨率
基于直线光栅尺的高精度定位平台的研制
期刊论文
OAI收割
制造业自动化, 2016, 期号: 4, 页码: 140-142
作者:
陈昊
;
陈琦
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2017/09/17
直线光栅尺
摩擦驱动
精密定位
Pid控制
剪切干涉仪精密相移系统的研制
期刊论文
OAI收割
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
作者:
代雷
;
于长淞
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2015/04/17
相移干涉
精密相移系统
压电陶瓷驱动器
柔性铰链
闭环控制
尺蠖型压电直线电动机制作及性能测试
期刊论文
OAI收割
微特电机, 2014, 期号: 6, 页码: 21-24
作者:
李全松
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2015/04/17
精密驱动
压电叠堆
直线电动机
尺蠖运动
钢丝绳传动在航空光学遥感器上的应用
期刊论文
OAI收割
激光与红外, 2013, 期号: 04, 页码: 418-422
张洪文
;
曹国华
;
李延伟
;
张雷
;
丁亚林
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2014/03/07
钢丝绳精密传动
双电机驱动
同步精度
刚度
用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
舒强
收藏
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提交时间:2014/12/11
波像差检测
压电陶瓷驱动器
柔性铰链
精密定位
模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用
期刊论文
OAI收割
光学技术, 2012, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 202-207
作者:
舒强
;
施宁平
;
饶学军
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/11/15
压电驱动器
纳米定位
精密对准
模糊控制
超低速精密跟踪平台的设计与控制系统研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
任长志
收藏
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浏览/下载:75/0
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提交时间:2013/12/18
大型天文望远镜
直接驱动
复杂机电系统
非线性PID
滑模控制
机电耦合
超低速精密跟踪转台
弧线电机
力矩波动
系统模型
磁极位置
CMAC
五自由度纳米级定位精度机构的研制
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2005, 期号: 2, 页码: 90, 91
王勇
;
刘志刚
;
薄锋
;
朱健强
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浏览/下载:2930/268
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提交时间:2009/09/18
精密定位
Precision positioning
柔性机构
Compliant mechanism
压电/电致伸缩驱动
Piezo-driven mechanism
大行程高分辨率微定位机构的设计分析
期刊论文
OAI收割
机械设计, 2005, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 22, 24
王勇
;
刘志刚
;
薄锋
;
朱健强
收藏
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浏览/下载:1602/378
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提交时间:2009/09/18
精密定位
柔性放大机构
压电/电致伸缩驱动
precision positioning
flexible amplification mechanism
piezo-/elect ricity caused lengthen and shorten drive