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Xe介质极紫外光源时间特性及最佳条件研究 期刊论文  OAI收割
物理学报, 2013, 期号: 24, 页码: 219-225
作者:  
谢耀
收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2014/03/07
紫外光刻光源设计与分析 期刊论文  OAI收割
机械工程师, 2013, 期号: 06, 页码: 15-16
作者:  
谭向全
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2014/03/07
用于光刻的EUV光源 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2007, 卷号: 2007, 期号: 01, 页码: 12-16
赵环昱; 赵红卫
  |  收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/10/29