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磁控溅射法制备Si1-xGex/B多层薄膜及其热电性能研究
期刊论文
OAI收割
新能源进展, 2016, 期号: 5, 页码: 345-350
作者:
杜鑫
;
苗蕾
;
刘呈燕
;
王潇漾
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提交时间:2017/12/31
热电材料
硅锗薄膜
纳米结构
热电性能
PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
张林
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2013/04/12
等离子体增强化学气相沉积法
氢化纳米硅薄膜
微观结构
PECVD
nc-Si:H film
microstructure
中频孪生靶非平衡磁控溅射纳米硅薄膜的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012
高俊华
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浏览/下载:89/0
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提交时间:2013/04/12
中频孪生靶
非平衡磁控溅射
纳米硅薄膜
磁镜场
middle frequency dual-target
unbalanced magnetron sputtering
nc-Si film
magnetic mirror field
聚甲基硅氧烷纳米多孔薄膜的微孔结构分析
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2012, 期号: 1, 页码: 68-72
作者:
高芳亮
;
李生英
;
陈宏基
;
吴忠华
;
李志宏
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2015/12/25
有机高分子材料
聚甲基硅氧烷
掠入射小角X射线散射
纳米多孔薄膜
孔结构
纳米硅薄膜复合阳极的绿色微腔式OLED的研究
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2009, 期号: 4
作者:
刘星元
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/09/25
P型掺杂纳米硅薄膜
聚合物有机电致发光器件
微腔
金刚石薄膜为掩膜离子束室温溅射可控制备硅纳米圆锥阵列
期刊论文
OAI收割
核技术, 2009, 期号: 5
谢巧玲
;
李勤涛
;
杨树敏
;
贺周同
;
周兴泰
;
朱德彰
;
巩金龙
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/05/23
硅纳米圆锥
离子束溅射
金刚石薄膜
高压热充氢制备纳米晶硅薄膜的方法及其专用设备
成果
OAI收割
2008
中国科学院金属研究所
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提交时间:2013/07/24
纳米晶硅薄膜
高压热充氢
尺度均匀
博士论文-硅纳米发光材料结构缺陷与发光性能研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2008
作者:
郝小鹏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2015/10/12
硅纳米晶
SiOx薄膜
光致发光
正电子湮灭谱学
碳场电子发射体的应用研究
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 5, 页码: 88-92
刘光诒
;
李宏彦
;
夏善红
;
吕永积
;
王建英
;
吕庆年
;
王德安
;
丁耀根
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/05/19
耐高温碳场电子发射体(CFE)
平滑型耐高温碳场电子发射体(SCFE)
阵列硅场电子发射体(Si-FEA)
碳纳米管薄膜场发射体(CNT)
寻址式碳纳米管阵列场发射体(CNT-FEA)
纳米硅基双势垒MOS结构的原位制备、F-N隧穿及电荷存储
会议论文
OAI收割
第三届上海纳米科技与产业发展研讨会, 2006
吴良才
;
陈坤基
;
宋志棠
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浏览/下载:84/0
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提交时间:2012/01/18
纳米硅 双势垒 电荷存储 等离子体 隧穿势垒 隧穿机制 单晶薄膜