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碳氢薄膜纳米结构调控及其超滑行为研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:
曹忠跃
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提交时间:2019/10/31
非晶碳膜
纳米金刚石
类富勒烯结构
洋葱碳
超滑
a-C:H films
Nano-diamond
Fullerene-like structure
Onion carbon
Superlubricity
应用于半导体器件的掺杂纳米金刚石膜
期刊论文
OAI收割
武汉工程大学学报, 2011, 期号: 10, 页码: 68-72
作者:
苏含
;
汪建华
;
熊礼威
;
刘鹏飞
;
江川
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提交时间:2012/07/06
纳米金刚石膜
半导体器件
掺杂
碳基纳米复合薄膜的设计、制备及其性能研究
学位论文
OAI收割
理学博士: 中国科学院研究生院, 2008
作者:
王鹏
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提交时间:2013/04/26
类金刚石薄膜
功能梯度
纳米复合
类富勒烯碳膜
力学性能
摩擦学性能
Diamond-like carbon film
Functional gradient layer
Nanocomposite
Fullerene-like carbon film
Mechanical properties
Tribological properties
玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究
期刊论文
OAI收割
化学学报, 2007, 期号: 17
陈强
;
李刚
;
潘爱平
;
金庆辉
;
赵建龙
;
程建功
;
徐元森
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提交时间:2012/01/06
类金刚石膜
原子力显微镜
纳米摩擦
等离子源离子注入
用氢气/甲醇混合气体在微波等离子体CVD中合成纳米晶粒金刚石膜
期刊论文
OAI收割
材料导报, 2006, 卷号: 020
作者:
满卫东
;
江建华
;
王传新
;
马志斌
;
王升高
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提交时间:2020/11/23
纳米晶粒
金刚石膜
微波
化学气相沉积
PSII法制备DLC膜的纳米摩擦性能研究
会议论文
OAI收割
第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年, 2005
李新
;
唐桢安
;
徐军
;
鲍海飞
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提交时间:2012/01/18
类金刚石膜 原子力显微镜 纳米摩擦 等离子源离子注入
新型表面技术是通向高技术的桥梁
期刊论文
OAI收割
中国机械工程, 1994, 期号: 2, 页码: 63-64
闻立时,黄荣芳
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提交时间:2012/04/12
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