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• 上海微系统与信息技术... [5]

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• 学位论文 [5]

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• 2010 [1]
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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 低温等离子体键合与新型高速衬底材料制备 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2010 马小波 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2012/03/06 低温等离子体键合  绝缘体上的硅（SOI）  绝缘体上锗硅（SGOI）  绝 缘体上的锗（GeOI）  应变硅（strained Si）   SGOI、SODI新结构材料及其相关技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2006 狄增峰   收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2012/03/06 SiGe  绝缘体上的硅(SOI)  绝缘体上的锗硅(SGOI)  应变硅  高K栅介质  等离子浸没式离子注入  自加热效应     新结构SOI材料与器件物理研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2005 朱鸣   收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅(SOI)  自加热效应  浮体效应  等离子体浸没式离子注入     低剂量超薄SIMOX圆片制备技术的应用研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 王湘   收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅(SOI)  注氧隔离(SIMOX)  埋层(BOX)  退火  正电子湮没     水等离子体离子注入形成SOI结构材料的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2002 陈静   收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅（SOI）  离子注入  等离子体  注氧隔离（SIMOX）