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多波段大口径全介质高反膜的设计与制备
期刊论文
OAI收割
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 4, 页码: 335-341
作者:
师云云
;
徐均琪
;
刘政
;
张凯锋
;
苏俊宏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2022/09/01
薄膜
大口径
多波段
残余应力
激光损伤阈值
残余应力对介质高反膜面型影响的研究
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 05, 页码: 484-490
作者:
李阳
;
徐均琪
;
刘政
;
苏俊宏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2021/10/13
薄膜应力
大口径
ERT
面型
机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究
期刊论文
OAI收割
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:
张宝庆
;
张绍泽
;
曹聪
;
高劲松
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浏览/下载:95/0
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提交时间:2021/07/06
机刻光栅
复合基底
残余应力
薄膜
压痕
模拟
圆形薄膜预应力测量
期刊论文
OAI收割
工程塑料应用, 2020, 卷号: 48, 期号: 3, 页码: 109-114
作者:
谭昭
;
吴时彬
;
杨伟
;
翟嘉
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2021/05/11
预应力
圆形薄膜
位移
膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响
期刊论文
OAI收割
硅酸盐学报, 2019, 期号: 01, 页码: 6
作者:
李晓伟
;
许世鹏
;
汪爱英
;
李玉宏
;
陈仁德
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浏览/下载:260/0
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提交时间:2018/12/04
四面体非晶碳膜
膜厚
残余应力
薄膜结构
退火温度对Ta2O5/SiO2多层反射膜结构和应力特性的影响
期刊论文
OAI收割
物理学报, 2019, 卷号: 68, 期号: 11, 页码: 166-172
作者:
刘保剑
;
段微波
;
李大琪
;
余德明
;
陈刚
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浏览/下载:349/0
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提交时间:2019/11/13
光学薄膜
Ta2O5/SiO2多层反射膜
退火
应力特性
电极化对FBAR应力负载效应影响的分析
期刊论文
OAI收割
压电与声光, 2018, 卷号: 40, 期号: 3, 页码: 366-369
作者:
文数文
;
王宇航
;
高杨
;
张大鹏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2019/09/24
微机电系统
力学传感器
薄膜体声波谐振器
应力负载效应
电极化效应
解析模型
离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者:
余琪
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2017/06/14
薄膜应力,离子束溅射技术,光学薄膜,有限元分析
应力/应变对FeRh合金薄膜磁性和输运性质的调控研究
期刊论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所), 2017, 页码: 112
作者:
谢亚丽
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浏览/下载:45/0
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提交时间:2018/12/04
Ferh薄膜
铁磁态
反铁磁态
应力/应变
调控
铜铬共掺杂类金刚石碳基薄膜的制备、结构与物性研究
期刊论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院宁波材料技术与工程研究所), 2017, 页码: 137
作者:
孙丽丽
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2018/12/04
类金刚石薄膜
铜铬共掺杂
微结构
残余应力
性能调控