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航空用电磁式硅谐振压力传感器检测电路及仪表研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
朱林
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2017/06/08
硅谐振压力传感器
温度自补偿
检测电路
仪表电路
航空用电磁式硅谐振压力传感器检测电路及仪表研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
朱林
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2017/06/07
硅谐振压力传感器
温度自补偿
检测电路
仪表电路
基于SOI背孔引线技术的大量程谐振式MEMS压力传感器研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
邢永豪
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浏览/下载:46/0
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提交时间:2016/06/02
谐振式压力传感器
大量程
阳极键合
SOI背孔引线
温度自补偿
静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
谢波
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2016/06/04
谐振式压力传感器
静电激励/电容检测
阳极键合真空封装
SOI通孔引线
Au电极无掩膜制作
温度自补偿
提高谐振式MEMS气压传感器综合性能关键技术研究
学位论文
OAI收割
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
李忆南
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2015/06/21
谐振式MEMS压力传感器
温度补偿
闭环电路
传感器仪表
高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
罗振宇
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浏览/下载:79/0
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提交时间:2015/06/05
谐振式
压力传感器
品质因数
圆片级真空封装
阳极键合
吸气剂
TGV
低应力组装
差频检测
温度补偿
压电倾斜镜的高压驱动及高速控制
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2015, 卷号: 23, 期号: 10, 页码: 2803-2809
作者:
凡木文
;
黄林海
;
李梅
;
饶长辉
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/11/15
自适应光学
压电倾斜镜
高压驱动器
高速控制
机械谐振
特性补偿
用于频率参考源的微机械谐振器与振荡器
学位论文
OAI收割
博士, 北京: 中国科学院大学, 2014
赵晖
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2014/06/03
参考频率源
MEMS 谐振器
高阶谐振模态
振荡器
温度补偿
光雷一体化测量系统的谐振特性及组合补偿
期刊论文
OAI收割
光学精密工程, 2014, 期号: 4, 页码: 926-933
郭同健
;
高慧斌
;
宋立维
;
张淑梅
;
余毅
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2015/04/17
光雷一体化系统
谐振补偿
陷波器
Kalman观测器
蒸汽参数突变对微波谐振腔测量蒸汽湿度的影响分析
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会, 2012
钱江波
;
韩中合
;
张美凤
;
李恒凡
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2013/03/20
微波谐振腔
温度自补偿
温度滞后
固流耦合
谐振频率
湿度测量