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• 长春光学精密机械与物... [5]

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• 期刊论文 [5]

发表日期

• 2003 [1]
• 2002 [2]
• 2000 [2]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 气体靶激光等离子体软X-射线源实验研究 期刊论文  OAI收割 光谱学与光谱分析, 2003, 期号: 01, 页码: 101-103 作者:  陈波;  尼启良;  巩岩 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/03/11 软X-射线  激光等离子体  气体靶  软X-射线投影光刻   软X射线投影光刻技术及其发展(续) 期刊论文  OAI收割 物理实验, 2002, 期号: 06, 页码: 3-6 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线:6714  投影光刻:5104  多层膜:4818  反射式:1137  光刻胶:1091  软X射线照射:949  掩膜技术:901  反射率:875  光学系统:601  易氧化材料:561   软X射线投影光刻技术及其发展 期刊论文  OAI收割 物理实验, 2002, 期号: 05, 页码: 3-6 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线  投影光刻  光学系统   软X射线投影光刻技术 期刊论文  OAI收割 强激光与粒子束, 2000, 期号: 05, 页码: 559-564 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线  投影光刻  集成电路   软X射线投影光刻原理装置的设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2000, 期号: 01, 页码: 66-70 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线投影光刻  多层膜反射镜  软X射线投影光刻原理装置  激光等离子体光源