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	软X射线波段透射光栅检测系统期刊论文 OAI收割长春理工大学学报(自然科学版), 2012, 期号: 03, 页码: 50-53 作者: 陈波; 何飞收藏 \| 浏览/下载：10/0 \| 提交时间：2013/03/11 透射光栅检测系统空心阴极光源软X射线
	软X射线波段透射光栅衍射效率检测系统期刊论文 OAI收割吉林大学学报(工学版), 2012, 期号: 04, 页码: 1011-1016 作者: 何飞; 陈波收藏 \| 浏览/下载：102/0 \| 提交时间：2014/03/07 光电子学与激光技术软X射线透射光栅衍射效率实验标定光栅模型
	大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测期刊论文 OAI收割物理学报, 2008, 期号: 10 朱伟忠; 吴衍青; 郭智; 朱效立; 马杰; 谢常青; 史沛熊; 周洪军; 霍同林; 邰仁忠; 徐洪杰收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2012/06/06 软X射线金属型透射光栅严格耦合波方法衍射效率软X射线干涉光刻
	13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计期刊论文 OAI收割光学学报, 2008, 期号: 07 朱伟忠; 吴衍青; 陈敏; 王纳秀; 邰仁忠; 徐洪杰收藏 \| 浏览/下载：36/0 \| 提交时间：2012/06/06 干涉光刻软X射线透射光栅严格耦合波方法复折射率衍射效率
	基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计期刊论文 OAI收割核技术, 2008, 期号: 06 朱伟忠; 吴衍青; 史沛熊; 郭智; 邰仁忠; 徐洪杰收藏 \| 浏览/下载：20/0 \| 提交时间：2012/06/06 软X射线透射光栅衍射效率高级硅刻蚀硅氧化工艺严格耦合波方法软X射线干涉光刻
	软X射线干涉光刻相关技术研究学位论文 OAI收割博士, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005 朱伟忠收藏 \| 浏览/下载：128/0 \| 提交时间：2012/04/11 软X射线金属型透射光栅严格耦合波方法电子束光刻衍射效率软X射线干涉光刻
	带前置光学系统的软X射线透射光栅光谱仪期刊论文 OAI收割光谱学与光谱分析, 1999, 期号: 06, 页码: 875-877 作者: 高劲松; 陈星旦; 陈斌收藏 \| 浏览/下载：17/0 \| 提交时间：2013/03/11 软X射线大面积透射光栅光谱仪
	用透射光栅谱仪测量多层膜的反射特性期刊论文 OAI收割光学精密工程, 1999, 期号: 04, 页码: 22-27 王占山收藏 \| 浏览/下载：4/0 \| 提交时间：2013/03/11 软X射线多层膜反射率透射光栅光谱仪
	超高密度（10~5l／mm）软X射线透射式闪耀光栅的新设想期刊论文 OAI收割光学学报, 1995, 期号: 10, 页码: 5 作者: 黎刚; 崔明启收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2015/12/25 磁控溅射透射式闪耀光栅软X射线