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机构
长春光学精密机械与物... [2]
高能物理研究所 [1]
工程热物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2018 [1]
2015 [1]
2012 [1]
2005 [1]
学科主题
化学反应动力学 [1]
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浏览/检索结果:
共4条,第1-4条
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V形坑缺陷对GaN材料性能影响研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
付英昊
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2019/09/23
氮化镓
金属有机物气相沉积
V形坑缺陷
GaN生长均匀性结合化学反应动力学研究
会议论文
OAI收割
2015年中国工程热物理学会燃烧学学术年会, 2015
作者:
郑江
;
蒋志敏
;
方海生
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2015/12/31
金属有机物气相沉积
GaN生长均匀性
化学反应动力学
反应器结构
工艺参数
预通三甲基铝对AlN薄膜的结构与应变的影响(英文)
期刊论文
OAI收割
发光学报, 2012, 期号: 01, 页码: 82-87
作者:
宋航
;
李志明
;
缪国庆
;
蒋红
;
黎大兵
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/03/11
金属有机物气相沉积
AlN
预通三甲基铝(TMAl)
应力
低温MOCVD法沉积的GaN/GaAs(001)薄膜中的孪晶现象(英文)
期刊论文
OAI收割
半导体学报, 2005, 期号: 4, 页码: 645-650
作者:
沈晓明
;
王玉田
;
王建峰
;
刘建平
;
张纪才
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/12/25
X射线衍射
金属有机物化学气相沉积
氮化物