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机构
上海微系统与信息技术... [3]
力学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
会议论文 [2]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2011 [1]
2008 [1]
2005 [2]
学科主题
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共4条,第1-4条
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高精度铂薄膜电阻传感器标定系统
会议论文
OAI收割
LHD2011夏季学术研讨会, 内蒙赤峰, 2011
作者:
苑朝凯
;
谷笳华
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提交时间:2014/01/23
热流测量
传感器标定
铂薄膜电阻
基于聚酰亚胺衬底的柔性MEMS技术及在传感器中的应用研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
肖素艳
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浏览/下载:123/0
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提交时间:2012/03/06
柔性MEMS技术
聚酰亚胺(PI)
聚二甲基硅氧烷(PDMS)
铂薄膜电阻温度传感器
触觉力传感器
延迟击穿半导体开关二极管最佳参数确定
期刊论文
OAI收割
强激光与粒子束, 2005, 期号: 07
余稳
;
谭述奇
;
张飞
;
张义门
;
孙晓玮
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/06
皮肤技术
聚酰亚胺
柔性衬底
铂薄膜电阻
温度传感器
基于聚酰亚胺柔性衬底微温度传感器阵列的关键技术研究
会议论文
OAI收割
中国机械工程, 2005
肖素艳
;
车录锋
;
李昕欣
;
王跃林
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浏览/下载:77/0
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提交时间:2012/01/18
温度传感器 柔性衬底 MEMS技术 聚酰亚胺 铂薄膜电阻