中国科学院机构知识库网格系统: 检索

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条

帮助

条数/页：排序方式：
	聚苯乙烯/氧化硅核壳型复合磨料的制备及其在铜化学机械抛光的应用研究学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2011 张磊收藏 \| 浏览/下载：41/0 \| 提交时间：2013/04/24 硅溶胶 PS/SiO2 核壳结构复合磨料铜化学机械抛光
	一种新型复合磨料对铜的化学机械抛光研究期刊论文 OAI收割功能材料与器件学报, 2011, 期号: 05 张磊; 汪海波; 张泽芳; 王良咏; 刘卫丽; 宋志棠收藏 \| 浏览/下载：27/0 \| 提交时间：2012/04/13 PS/SiO2 复合磨料铜化学机械抛光
	Cu互连及其关键工艺技术研究现状期刊论文 OAI收割半导体技术, 2008, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 4，374-377 作者: 赵超荣; 杜寰; 刘梦新; 韩郑生 \| 收藏 \| 浏览/下载：13/0 \| 提交时间：2010/05/27 铜互连阻挡层材料电化学镀铜化学机械抛光
	一种压阻式传感器温度漂移自动补偿试验系统期刊论文 OAI收割自动化仪表, 2003, 期号: 05 马明前; 谢日阳; 陈士清收藏 \| 浏览/下载：16/0 \| 提交时间：2012/01/06 超大规模集成电路化学机械抛光铜抛光液多层互连