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机构
上海微系统与信息技术... [2]
电子学研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
2003 [1]
学科主题
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浏览/检索结果:
共3条,第1-3条
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微机械面型微加热器的热学分析
期刊论文
OAI收割
功能材料与器件学报, 2005, 期号: 04
吴雷
;
李铁
;
王立春
;
王翊
;
王跃林
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提交时间:2012/01/06
离子束辅助沉积
铪膜
择优取向
离子束辅助沉积铪膜耐热应力性能研究
会议论文
OAI收割
第十三届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议暨第九届全国固体薄膜学术会议, 2004
江炳尧
;
任琮欣
;
冯涛
;
蒋军
;
柳襄怀
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提交时间:2012/01/18
钼栅极 电子发射 离子束辅助沉积 行波管 铪膜 耐热应力 工艺条件
离子束辅助沉积铪薄膜晶粒的择优取向
期刊论文
OAI收割
中国有色金属学报, 2003, 卷号: 13, 期号: 6, 页码: 1414-1419
江炳尧,任琮欣,郑志宏,柳襄怀,樊会明,姚刘聪,李玉涛,苏小保
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提交时间:2010/09/02
离子束辅助沉积 铪膜 择优取向