机构

• 沈阳自动化研究所 [11]

采集方式

• OAI收割 [11]

内容类型

• 期刊论文 [7]
• 学位论文 [4]

发表日期

• 2012 [2]
• 2011 [2]
• 2010 [4]
• 2009 [1]
• 2007 [2]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 单臂集束型装备随机Petri网模型与性能分析 期刊论文  OAI收割 沈阳化工大学学报, 2012, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 360-364,369 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2013/04/21 随机Petri网  集束型装备  马尔可夫过程  吞吐量   并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 11, 页码: 869-873 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/12/28 并行  集束型装备  吞吐量  模型  晶圆   集束型半导体装备建模与仿真技术研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011 郑秀红 收藏  |  浏览/下载：176/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型  随机Petri网  建模  仿真   有滞留时间约束的集束型装备在线调度问题研究 期刊论文  OAI收割 控制与决策, 2011, 卷号: 26, 期号: 1, 页码: 37-43,48 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  集束型装备  在线调度  粒子群优化算法  滞留时间约束  晶圆  问题研究  调度问题  机械手  调度方法   集束型半导体制造装备优化调度问题研究 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2010 李林瑛 收藏  |  浏览/下载：341/0  |  提交时间：2012/07/27 半导体制造  集束型装备  数学规划模型  调度算法  集束型装备控制系统   半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究 期刊论文  OAI收割 系统仿真学报, 2010, 卷号: 22, 期号: 8, 页码: 1942-1946 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  两集束型装备  调度  线性规划模型   引入周期性维护的基束型装备SPN模型及仿真 期刊论文  OAI收割 计算机仿真, 2010, 卷号: 27, 期号: 11, 页码: 354-358 作者:  胡静涛;  于海斌 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/05/29 集束型装备  故障  周期性维护  模型  仿真   多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题 期刊论文  OAI收割 计算机集成制造系统, 2010, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 109-114 作者:  李林瑛;  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/05/29 半导体制造  多集束型装备  双臂机械手  缓冲加工模块  并行机  调度   复杂单臂机器人集束型装备调度模型 期刊论文  OAI收割 信息与控制, 2009, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 431-436 作者:  李林瑛;  胡静涛   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/11/29 半导体制造  集束型装备  混合整数规划模型  并行腔  可重入腔   真空机器人传输模组软件控制平台的构建 学位论文  OAI收割 沈阳: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2007 作者:  潘萌   |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/29 真空机械手  集束型设备  传输模组  时间petri网