机构

• 长春光学精密机械与物... [1]
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• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [3]

内容类型

• 期刊论文 [3]

发表日期

• 2012 [1]
• 2006 [2]

学科主题

• 光学薄膜 [1]

筛选

浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 193nm光刻投影物镜单镜支撑仿真分析及实验研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2012, 期号: 08, 页码: 227-232 作者:  隋永新;  王汝冬;  王平;  田伟 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2013/03/11 应用光学  193nm光刻  运动学支撑  光学检测  有限元法   侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 增刊, 页码: 340-342 作者:  谢常青;  刘明;  陈宝钦;  叶甜春   |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2010/05/26 193nm光学光刻  衰减型移相掩模  离轴照明  数值孔径  Prolith   光刻机系统中193nm薄膜的研究进展 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 11, 14 尚淑珍; 易葵; 邵建达; 范正修 收藏  |  浏览/下载：1140/120  |  提交时间：2009/09/22 光刻  193nm  光学薄膜  准分子激光光刻  光刻机系