机构

• 上海微系统与信息技术... [2]
• 化学研究所 [1]
• 武汉物理与数学研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2009 [1]
• 2008 [1]
• 2003 [1]
• 2000 [1]

学科主题

• Electroche... [1]
• Engineerin... [1]

筛选

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 Mechanism of selective Si3N4 etching over SiO2 in hydrogen-containing fluorocarbon plasma 期刊论文  OAI收割 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2009, 卷号: 86, 期号: 11, 页码: 2354-2357 Chen, LL; Xu, LD; Li, DX; Lin, B 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2012/03/24 SILICON-NITRIDE  OXIDE  DIOXIDE  REACTOR  RATES  CHF3   In situ monitoring and real-time control of gate hardmask etching in high-volume manufacturing of ICs 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2008, 卷号: 155, 期号: 11, 页码: D699-D702 Chen, L; Jiang, WN; Pao, T; Lin, B; Xu, LD; Ji, GM; Cai, H 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/03/24 ELECTRONICS CONFERENCE REACTOR  SILICON DIOXIDE  FLUOROCARBON PLASMAS  CHAMBER WALL  CHF3  CF4   Newly designed tunable far infrared laser spectrometer and pure rotational spectra of CHF3 and SO2 期刊论文  OAI收割 SPECTROSCOPY AND SPECTRAL ANALYSIS, 2003, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 714-717 作者:  Huang, GM;  Zu, LL;  Duan, CX;  Li, FY;  Liu, YY 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2015/12/03 tunable far infrared  laser spectroscopy  CHF3  SO2   Effect of CO2 and CHF3 on the solubilization of protein in reverse micelles 期刊论文  OAI收割 JOURNAL OF COLLOID AND INTERFACE SCIENCE, 2000, 卷号: 232, 期号: 2, 页码: 269-272 作者:  Zhang, HF;  Han, BX;  Yang, GY;  Yan, HK   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/04/09 Compressed Gases  Reverse Micelles  Protein Precipitation  Co2  Chf3